傅里葉變換紅外光譜分析儀

產品簡介
MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀是以傅里葉變換紅外為基礎的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流，能同時分析和顯示多達30種氣體。

產品型號：MG6030

更新時間：2025-07-25

廠商性質：生產廠家

訪問量：1910

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

燃燒與排放氣體分析

氮氧化物分析儀CLD-Dual 傅里葉變換紅外光譜分析儀在線式煙氣分析儀maMoS 手持式煙氣分析儀NOVO 手持式煙氣分析儀GA12PLUS 便攜式煙氣分析儀GA21PLUS 便攜式煙氣分析儀GA40TP 便攜式煙氣分析儀GA60 便攜式煙氣分析儀Photon

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傅里葉變換紅外光譜分析儀，MG6030

MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀是以傅里葉變換紅外為基礎的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流，能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會發(fā)現(xiàn)MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀操作簡便，易于維護。

MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀由2102傅里葉變換紅外制成分光計，高光通量取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。MG 6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量。

應用領域：

●煙囪監(jiān)測器

●工藝監(jiān)測改進和優(yōu)化

●空氣環(huán)境分析

●氣體純度分析

●燃燒排放監(jiān)測

●選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測

特點和優(yōu)點：

●10ppb~100%靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體

●易于移動從一處移到另一處，設置僅需幾分鐘

●同時分析和顯示多達30種氣體

●分析儀儲存了校準光譜，省去了氣體筒的成本

●取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定溫度

●線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的校準條件下

●頻率和分辨率診斷，確保校準恒定

●提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度

●用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓即可操作

分析儀主機

測試技術傅里葉變換紅外光譜

可測試氣體或水蒸氣絕大多數(shù)分子除了氮氣，氧氣和氫氣

范圍濃度從10ppb到100%

傅里葉變換紅外 2102制成傅里葉變換紅外

光譜分辨率 0.5 - 128cm-1

掃描速度每秒5次在0.5cm-1

掃描時間 1 – 300秒

紅外源碳化硅在1200℃

參考激光氦氖（15798.2cm-1）

檢測器液氮冷卻MCT或半導體制冷冷卻MCT（汞-鎘-碲化物）

清潔(Purge)壓力最大20PSI(1.5bar)

光譜室Purge流量 0.2升/分，干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣

光學系統(tǒng)Purge流量 0.2升/分，干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣

壓力傳感器 MKS Baratron 電容式薄膜壓力傳感器

Purge連接 Swagelok 快速接頭

電腦要求臺式或筆記本電腦帶Intel奔騰處理器,微軟Wingdows； XP操作系統(tǒng)，1024 X 768顯示

通訊口 RJ-45交叉以太網(wǎng)

輸出選件 XML，模擬，AK，其他

尺寸 445mm寬 *318mm高 * 648mm深

$E:\08-AI設計及物料印刷\17-深圳昂為產品手冊\02第二部分公司產品目錄\12 MKS 產品圖片和資料\QQ圖片20230606171414.png$ 安裝可安裝于19英寸標準機柜

電源 110V或220V，50/60hz，3A

重量 50公斤

IR Spectrum of Semiconductor Stack: Sample (white), Calibrations (color). MG 6030 can speciate (differentiate) similar molecules simultaneously.

分析儀采樣參數(shù)

QQ圖片20230606171409

采樣溫度室溫至200℃（取決于校準溫度）

采樣速流 0.2 – 10升/分

采樣壓力 0.01 – 4大氣壓（取決于校準壓力）

結構鍍鎳鋁，或316不銹鋼焊接選件

接頭 Swagelok?或VCR?

采樣壓力 1個大氣壓（取決于校準壓力）

管道加熱不銹鋼

Graphical User Interface for Calibration

鏡鋁襯底鎳板，鍍金

窗口 KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可選)

“O"型密封圈 Viton(其他可選)

檢測極限

5.11米氣室，MCT檢測器在0.5cm-1分辨率下，下列典型氣體檢測數(shù)據(jù)為：

名稱	分子式	20/20TM氣室， 5分鐘檢測時間下的檢測值	20/20TM氣室， 1秒鐘檢測時間下的檢測值
氨氣	NH3	30ppb	0.5ppm
二氧化碳	CO2	12ppb	0.2ppm
一氧化碳	CO	72ppb	1.2ppm
甲醛	H2CO	36ppb	0.6ppm
氯化氫	HCl	87ppb	1.5ppm
甲烷	CH4	36ppb	0.6ppm
二氧化氮	NO2	24ppb	0.4ppm
氧化氮	NO	210ppb	3.6ppm
氧化二氮	N2O	30ppb	0.5ppm
四氟化硅	SiF4	10ppb	0.15ppm
二氧化硫	SO2	36ppb	0.6ppm
四氟化碳	CF4	2.5ppb	40ppb
二甲苯磺	C8H10	60ppb	1.0ppm